真空内でXYZ位置決めをして、真空内カメラで確認しながら目的箇所に気泡のない樹脂を注入できます。

仕様一覧

外形寸法 mm	1700 x 1800 x 2000
制御軸数	5軸 ( XYZ+注入 )
X軸移動範囲 mm	750
Y軸移動範囲 mm	1080
Z軸移動範囲 mm	200
樹脂注入軸	2軸
繰返し位置決め精度	±0.1mm
到達圧力	1x10^-2Pa
外付けカメラ	チャンバー内全体撮影用
真空内カメラ	樹脂注入部撮影用